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加热盘

应用于TF制程中,产品拥有高平面度及洁净度要求,拥有极高的温度控制能力,进而影响薄膜的沉积能力。

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加热盘
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产品特点

高温度均匀性

高温度均匀性

T±(0.5~1)%

电子束焊接、真空钎焊、精密加工

特种涂层

特种涂层

氟化膜层

国内首家具备此镀膜能力的零部件供应商

高洁净度

高洁净度

(Particle@0.2um<15ea/cm2)

质量管理

ag8大厅登录质量管理秉承"好的质量是设计、制造出来的"为原则,关注客户端到端的质量服务,从研发、设计、过程全生命周期质量管理关注各环节中入口质量、过程质量、出口质量,以保证整体质量可控,最终构建成以以预防为主的质量文化,助力客户产品更具竞争力。

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